薄膜、蝕刻設備
高溫氧化爐
Oxidation Furnace
電漿輔助化學氣相沉積設備 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
電子束蒸鍍機
E-beam Evaporator
二氧化碳超臨界機
Super Critical CO2 Dry Release
深反應式離子蝕刻機
ICP(Deep RIE)
反應式離子蝕刻機 RIE(Reactive Ion Etching)
磁控式濺鍍機
Sputter
超真空濺鍍機
Ultra-High Vacuum Ion Beam Sputter Parylene Deposition
微電鑄槽
Electroforming System
測試設備
電子探針台 RF and DC Probe Station
表面粗度儀
Alpha-step Profilometer
晶片切割機
Wafer Cutting Machine
四點探針
Four point probe
光學顯微鏡
Optical Microscope
晶片打線機
Wire Bonding
橢圓偏光測厚儀
Ellipsommetry
薄膜量測儀
NanoSpec
高溫烘箱
High Temp. Oven
黃光室設備
光阻塗佈儀
Spin Coater
雙面光罩對準機
Double-Side Mask Aligner
超音波洗淨機
Ultrasound Cleaner
光學顯微鏡
Optical Microscope
真空烘箱 & 低溫烘箱
Vacuum Oven and Low Temp. Oven
單面光罩對準機
Single-Side Mask Aligner
雷射光罩繪圖機
Mask Writer
其他設備
雷射掃描共軛聚焦顯微鏡 Confocal Microscope
準分子雷射微細加工機
Exciter Laser Micro-machining
原子力顯微鏡
Atomic Force Microscope (P7LS & BIO47)
奈米微硬度計
Nanoindentor
雷射鑷子
Laser Tweezer
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