1.Parylene C 經加熱昇華至主火爐後熱分解成Monomer，到Chamber內因溫度降低，經重新鍵結後沉積於基板上

2.Chamber內之氣體會由Pump抽離


特點 :


因為真空所以無形狀限制
在設備理密閉的方式做Coating
非常細微的處理都能做處理
反應方式是真空低壓 遇常溫時氣化蒸發
他們要耐溫150度 高溫高濕是120度 24小時
抽真空10的負6~7次方 材料就會蒸發
氣體是用氮氣
在人體零件無排次性
撥水性不吸潮
顏色是透明的

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